185光刻機終成
會議結束後，張衝志來到餘向東經理的辦公室，餘向東驚喜的問張衝志：“張總監真能生產反射鏡片？它的難度太大了！”
張衝志說：“5奈米的反射境片我在春節後就造好了，等我再精磨以下，讓公司鍍上鉬和矽反射膜就可以使用了。
不過對於鉬矽反射膜我可以再最佳化一下，可以減少10%的對極紫外光線的吸收，這樣我們研發的二氧化碳鐳射光源，只要能達到110w功率，就綽綽有餘了！這樣還可以節約三分之一的光源製造成本。”
餘向東一下抱住他說：“你真是神人也！夏盛要為你記一大功！國家要給你記一大功！那我們為什麼不全部生產2奈米光刻機？”
張衝志說：“主要是那兩臺光刻機已達不到2奈米的要求了，再者我們的xS9000晶片效能優異，還不到淘狀的時候。
我們2奈米的晶片是一枚核彈，只有關鍵時刻將它點燃才能發揮巨大的作用，這裡面不僅有經濟作用，更有政治作用！這事你有時間向尹總說一說，我這就去忙了。”
說完轉身嚮往就走，就知他剛一出門，就被笑眯眯的尹總堵住了。
張衝志忙叫：“尹總好！你怎麼來了？”
尹總邊推著他重新進屋，邊說道:“你是不是對小娜做了什麼事，想躲我是不？回來也不向我彙報情況。”
張衝志馬上一頭黑線，他忙說：“尹總我只是替你去看了一下小娜，她很好，將你的問候送到我就走了。”
尹總滿臉不信，他說：“小娜三天前回來了，一見我別的不問先打聽你的事，而且不停將你的名字掛在嘴邊，說你如何厲害。
我這七八十歲老頭子的身體一點也不關心一下，想來我就氣，正好找你問問。你老實交待，不可隱瞞！”
嘴角抽了兩抽，尊重長輩是軒轅美德，張衝志只好將大體的經過又說了一遍，尹總聽完點了點頭，這才放過他。
餘向東和張衝志又將剛才的話向尹總彙報了一遍，讓尹總非常高興：“我們夏為這架破機器已經快完全修復好了，當換上心臟(晶片)時，一定竄的更高，一覽眾山小的感覺令人期待啊！”
張衝志將最佳化好的技術拿了出來，繞過專利壁壘，就帶領攻關小組開始工作。
反射鏡的鏡面加工精度要求是0.3奈米，而一個原子的大小接近0.1奈米，也就是說加工層要在三到四層原子之內。
現在真沒有什麼機械的加工精度達到這樣的精度，利用精密機械加工到一定精度後，可以再利用精磨人工打磨，不過失敗率很高，因此一年蘭斯麥超浸潤光刻機只能生產幾十臺，這個難度實在是高。
據說蘭斯麥的鏡片生產公司是蔡司公司，而蔡司生產鏡片的人是一個家族，三代都靠這門手藝吃飯，他們吃完飯後的工作就是磨各種鏡面。
這個工作對張衝志來說雖說有點難度，但還在他的控制精度之內。
另外他還有黑星，黑星利用探索絲可以上下左右每時每刻測繪鏡面的尺寸。
現在世界上最高的測繪記錄是由長島國的冷凍電鏡創造的，可以達到0.02奈米的尺度。
現在黑星的探索絲透過這臺冷凍電子通道顯微鏡的校準，測量精度已在0.01奈米，這一精度與原子核尺寸相比還差的遠，還有三個數量級。
而且黑星可以透過立體放大，將三十厘米大小的鏡面放大到上千平方米大小，張衝志相信可以透過黑星，透過一定的練習，精準控制自己的力度。
他全身機能所能達到的準確率是蔡司公司老師傅的十倍以上，足可生產出更精密的鏡片。
由於張衝志的神經反應速度超過人類的40倍，這讓他的手法快速，他與黑星待在一個密閉的恆溫恆溼無塵的千平大房間內，用了一天的時間。
最後完成了十五套165塊5奈米光刻機所用的鏡片，也就是布拉格反射器，當然也出了五套廢品。
這套加工手法與超級福崗的光感器加工工藝差不多。
而2奈米以後的超級浸潤式裝置與5奈米的不一樣，5奈米是採用NA=0.33的曝光裝置。
2奈米需要高解析度的曝光裝置，更高的NA化，即NA=0.55（NA是數值孔徑，與最大的臨界角度有關）。
張衝志又利用一晚上的時間生產了十二套2奈米反射鏡片，不過合格的只有七套，廢了五套，對於一般人來說，可能合格率達不到百分之一。