第一百八十四章 科技桂冠技術難(1 / 2)

小說:建設人類宇宙 作者:敬雨歡樂

184科技桂冠技術難

夏盛麒麟公司是在4118年10月正式成立的一家專攻光刻機和高階晶片的企業,由夏為公司和鴻盛公司抽調精兵強將組建的。

董事長由夏為尹總擔當,王守柱和王媛為副董事長,餘向東為cE0,張衝志為隱形技術總監。

光刻機的設計已由張衝志藉助黑星,並且融合蘭斯麥和尼康的技術,最佳化後設計出來。

晶片生產線也由張衝志結合長島國、東羅馬國、新陸國等最先進的技術,最佳化改進後設計出來。

其中許多關鍵裝置都由軒轅鴻盛集團製造出來,這條生產線一旦建設完成,將成為世界上最先進的生產線,沒有之一,是超越葉積電的存在。

這接近一年的時間裡,整個夏盛麒麟公司的所有員工在研究各種材料,不停地試錯,爭取尋找到一種材料,加工成零部件,裝配到光刻機上,使光刻機發揮出設計的功能來。

公司同時研發製造三臺光刻機。

現在購買一臺蘭斯麥超浸潤光刻機是1.5億新元以上,而夏盛麒麟公司的研發費用是它的許多倍。

即使有張衝志的設計和鴻盛集團強悍的零件加工能力,每臺研發費用也最少在4億新元以上。

再加上晶片生產線,夏盛麒麟公司這段時間已吞金200億玄元以上,外界卻沒有聽到一點響動。

雖然有些影片、報紙不時出個“標題黨”,忽悠一下大眾,內容全是撲風捉影,引不起什麼動靜來。

三臺光刻機的加工精度當時是2奈米,可是在製作過程中,夏盛公司發現這個難度太大,於是就降低了一下標準,計劃先製造生產5奈米晶片的光刻機。

現在各項工作已完成95%,只剩餘5%沒有完成,但是就這5%才是這光刻機的核心所在,體現了科技製造水平的高低。

就象你將一門大炮全部都造好了,最後發現無法造出大炮發射拴,那這門大炮也就失去了作用。

張衝志進了夏盛公司,換好無塵服直接去了三臺光刻機的組裝車間,兜裡裝著黑星。

這個裝配車間是在地下,為恆溫無塵車間,由於沒有最後完成,所以外殼沒有按裝上,裸露著各種導線和零件。

但沒有實驗裡那樣粗糙的工藝,所有的零件看上去亂中有序,當你再仔細觀察時,就會有種精美藝術品的感覺。

你會發現所有能利用的空間都被利用起來,每一根細線都在它應該在的位置上,這就是經過最佳化後的設計,那怕是裸露著,也給人一種美感。

光刻機包含著13個分系統,3萬多個機械體,200多個感測器,要想保證光刻機正常執行,每一步的準確率必須達到99.99%以上,尺寸的調整要達到百萬次以上。

蘭斯麥每年只能生產20臺,每一臺都被人虎視眈眈的訂著。

超浸潤光刻機的光源波長為13.5奈米,被稱為極紫外光源,經過收集後的功率為250w。

該光源產生的二氧化碳鐳射,要求必須精準打擊到由發射裝置發射出每秒高達50萬滴的純錫滴靶上面。

每一滴錫滴靶的直徑為30微米,錫滴被蒸發後還不能汙染反光鏡。

鏡頭是光刻機的第二難點,由於超浸潤極紫外光線太短,除了被空氣吸收還會被玻璃吸收,所以採用反光鏡。

鏡面採用鉬和矽製成的特殊膜,鍍到反光鏡的鏡面才有效果,這些鏡面凸起幅度不能超過0.3奈米,而鏡面的直徑是30厘米。

整個鏡頭採用布拉格反射器,但是每經過一次反射,極紫光的強度就要損失十分之三的能量。

而蘭斯麥的光刻機中有11個反光鏡,也就是說光源要經過11次反射後才能到達晶圓,在晶圓上刻線,最終僅能剩餘2%的光線能量,所以對光源發射功率要求較大。

研發難點第三是掩膜臺。掩膜臺的作用就是承載掩膜板運動的部件,它的運動是奈米級別的,運動精度在2奈米左右,要用什麼樣的控制裝置才能使掩膜臺的運動控制在2奈米以內,這就需要精加工的支援。

現在只有鏡頭和掩膜臺難以達到要求,透過測算良品率太低,難以形成規模性量產,而且只是勉強達到5奈米。

張衝志與各專案組專家一臺臺看過去,隨著他的提問,相關專家介紹該處零都件的生產工藝,所使用到的材料,到最後達到的效能。

其實這三臺光刻機都是採用夏盛公司現在所能找到的最好材料和裝置製造的,基本

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