大雲經》四卷，說武則天是彌勒佛化身下凡，應作為天下主人，武則天下令頒行天下。命兩京諸州各置大雲寺一所，藏《大雲經》，命僧人講解，並將佛教的地位提高在道教之上。九月侍御史傅遊藝率關中百姓九百人上表，請改國號為周，賜皇帝姓武。於是百官及帝室宗戚、百姓、四夷酋長、沙門、道士共六萬餘人，亦上表請改國號。
武后準所請，改唐為周，改元天授。尊號聖神皇帝，改元天授，但仍以李旦為皇嗣，賜姓武氏。立武氏七廟於神都，追尊周文王曰：始祖文皇帝。立武承嗣為魏王，武三思為梁王，其餘武氏多人為王及長公主。
神功元年（697年），酷吏來俊臣欲羅告武氏諸王及太平公主，又欲誣皇嗣（唐睿宗）及廬陵王（唐中宗）與南北衙共同謀反，擬一網打盡。武氏諸王與太平公主都十分害怕，共同揭發其罪行，下獄處以極刑。
聖曆元年（698年），武承嗣、武三思謀求當太子，幾次使人對武后說：“自古天子沒有以異姓當做繼承人的。”武則天猶豫未決，狄仁傑對武后說：“姑侄之與母子，哪個比較親近？（武承嗣、武三思皆武后之侄，中宗、睿宗則武后之子），陛下立兒子，那麼千秋萬歲後，會在太廟中作為祖先祭拜；立侄子，那麼從未聽說侄子當了天子，把姑姑供奉在太廟。”又勸武則天召還李顯。從此，武則天沒有立武承嗣、武三思為太子的心思，於是召李顯回洛陽，皇嗣李旦請求遜位於廬陵王，於是武則天立李旦為皇太子，命為元帥，狄仁傑為副元帥率兵擊突厥。
李仙蕙（684年-701年），字穠輝，唐中宗所有女兒中排行第七。韋皇后所生之女中排行第三，初封永泰郡主。李仙蕙在其父李顯復位東宮之後，以郡主身份下嫁武承嗣長子武延基。兄懿德太子李重潤和夫魏王武延基私議二張兄弟與武則天內幃之事，為武則天杖殺。
根據墓誌銘記載事件發生後第二天，身懷有孕的李仙蕙因難產而死，但《資治通鑑》、《舊唐書》、《新唐書》等史書記載永泰郡主亦死於坐罪。中宗復位後追贈李仙蕙為永泰公主，以禮改葬，號墓為陵。1960年9月，永泰公主墓誌銘出土。她是中國歷史上唯一一個墳墓被冠稱為“陵”的公主，規格與帝王相等。
李顯曾特地下詔免太平公主對皇太子李重俊、長寧公主等人行禮
神龍元年農曆十一月二十六日（705年12月16日），武則天在上陽宮病死去世，享年82歲，遺詔省去帝號，稱”則天大聖皇后“。神龍二年（706年）五月，與高宗合葬乾陵。
七月二十一日李隆基發動唐隆之變，萬騎左營統帥葛福順拔劍直闖羽林營，將韋璿、韋播、高嵩三人斬首示眾，高聲喝道：“韋后毒死先帝，謀危社稷，今晚大家要齊心協力，剷除韋家人及其死黨，凡是長得高過馬鞭的人一律斬殺；擁立相王為帝以安定天下。倘若有人膽敢首鼠兩端幫助逆黨，判的罪要連及三族。”羽林軍將士全都欣我從命。
於是葛福順將韋等人的首級送給李隆基，李隆基在燈下看過之後，便與劉幽求等人一同走出禁苑南門，鍾紹京率領著工匠二百餘人，手持斧子鋸子跟在後面。李隆基派葛福順率領左萬騎攻打玄德門，派李仙鳧率領右萬騎攻打白獸門，雙方約定在凌煙閣前會師後，即大聲鼓譟。葛福順等人分別殺掉守門的兵將，攻入宮中。李隆基率兵守在玄武門外，三更時分，聽到宮中鼓譟聲之後，即率領總監及羽林兵進入宮中，在太極殿負責守衛中宗靈柩的南牙衛兵們聽到鼓譟之後，全都披掛整齊響應李隆基等人。
韋后惶惑中逃入飛騎營，有一個飛騎兵將韋后斬首，並把首級獻給李隆基。安樂公主正對著鏡子畫眉，被士兵斬殺。此外還將武延秀斬首於肅章門外，將內將軍賀婁氏斬首於太極殿西。[15]不久追貶韋皇后為庶人，葬以一品之禮。
上官婉兒執燭率宮人迎接，並把她與太平公主所擬遺詔拿給劉幽求觀看，以證明自己是和李唐宗室站在一起的，劉幽求拿著遺詔求李隆基開恩，但李隆基不許，殺上官婉兒於旗下。