第74部分(4 / 4)

件的工作特性。 去離子水以電阻率 (resistivity) 來定義好壞,一般要求至17。5MΩ…cm以上才算合格;為此需動用多重離子交換樹脂、RO逆滲透、與UV紫外線殺菌等重重關卡,才能放行使用。 由於去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,其在半導體工業之使用量極為驚人!所以張國棟又多了一項扶植下游產業的機會!)

8、潔淨室所有用得到的氣源,包括吹乾晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98),吹乾晶圓的氮氣要求99。8以上的高純氮!”

看著上面的規定,張國棟長長的舒了一口氣,這樣的規定,這樣的細節,張國棟知道其實還有諸如汙水處理,廢氣排放等環保問題,這也需要大規模的投入,後世的意法半導體就是以環境保護措施施行嚴格聞名的。

很顯然,從初步震撼中回神的技術員們也看到了牆上的規定,也許別的他們不知道,可是那個限用重離子水和99。8的純氮就讓他們吃驚得舌頭都要吐出來了。 那位小白同志顯然對自己造成的震撼也比較滿意,不過當他看到張國棟那若無其事的樣子後心中又微微的不服氣起來,儘管他聽總裁說眼前這傢伙也算是一個大老闆了。

好在龍騰科技已經有了初步的潔淨室了,雖然可能沒有辦法提升到Intel這種比較變態的class1級,但是從class10到class5應該還是不難的,只要再增添一些裝置,然後在某些設計方面做些必要的改進,對管理進行得更加嚴格一些應該就沒問題了。 張國棟是暗暗下定決心,回到深圳後一定要將潔淨室的等級給提上去,細節決定成敗,既然目前龍騰科技沒辦法弄到1。5微米的生產線,那麼就在細節上下功夫!

隨著小白同志的帶領,張國棟他們進入到矽晶圓的製作室

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