光源,而這還不夠,我們用的終極紫外光就是紫外光的極限10奈米終極紫外光。”
“不可能!絕對不可能!”張振興脫口而出道。
“現在用鐳射轟擊錫液滴獲得13、5奈米的極紫外光已經是達到了極限,而且,耗電量達到了驚人的恐怖程度,若是想要獲得波長更短,強度更大的終極紫外光,那耗電量豈不是比現在的還要高很多!而且,還要求對光學掩膜發射器達到令人髮指的地步,這些……都……”
“都已經突破了!你沒發現咱們的這個晶片工廠建在了黑龍基地旁邊嗎?等到可控核聚變電站運轉,電量根本不是問題。”
“至於要求更高的光學掩膜,你看看這個。”說完,陳陽把一個樣品送到了張振興面前。
“這是咱們現在利用芥子掃描顯微鏡下,動態化學法磨出的平整度 ±10皮米的掩膜器,相當於一個太平洋那麼大面積的玻璃,凹凸誤差在10皮米以下!可以大幅度的反射終極紫外光,但是,對其他的光,卻可以全部吸收!”
聽到這話,張振興震驚了!
看著那些東西,過了半晌才反應過來!
“這些技術您真的全都突破了?”
這得多少工藝創新點,這得多少創新成果?
光源,柵極構造,光學掩膜器……任何一項,都是重大突破,竟然全部被陳教授一個人搞定了?
“不然呢?要不然咱也沒必要非得製造1奈米制程工藝點的光刻機啊。”陳陽笑著說道。
“好,我馬上把這些工作全部分發下去,保證在一個星期!不!三天!三天內把成果交個您。”
“好!辛苦了!”
“不!和您的工作比起來,我們這些,不值一提!”張振興激動道。