未來想要縮小刻蝕的解析度,甚至還要繼續上14nm的極紫外光。至於10奈米以下,可能人類的科技就已經研究出其他的加工方式了吧。
當然這些只是不準確的科普說法,如果具體要解釋一下光波和刻蝕解析度的關係,或者解釋一下照準系統的最大解析度概念之類的……
本書的長度恐怕會有些不足,以及略有騙稿費的嫌疑。雖然這些知識如果真的講出來千字3分就太便宜了。本著經不輕傳的道理(其實作者也不懂)就不多說了。
言歸正傳,塗岸北腦海中靈光一現,正是水的一種特性。那就是光透過液體介質後光源波長就會縮短。其縮短的倍率即為液體介質的折射率。也就是說光刻機的光源如果在照射到光刻膠之前先在水中穿行一次,就相當於換了一個更細的刻刀。
而水的折射率是1。44,當0。8微米波長的光線穿過水之後,0。8除以1。44豈不正是0。56微米?如果這項技術真的有可行性。那確實是可以在不提高精密製造水平的前提下,得到更高一代的晶片製程技術。
這麼簡單的原理,周碩當然不是第一個想到的。用水縮短光源的波長來提高製程工藝。是未來光刻機普遍採用的技術。也就是學名叫做沉浸式光刻機的裝置。透過不斷努力,未來的光刻機早就已經實現了這項技術。不僅是折射率1。44的水。更開發出折射率更高的液體。沉浸液成為鏡片和光源之外,第三個能夠快速減小線寬的因素。
“怎麼樣。大家現在還有什麼疑問沒有?”
在場的十四個研發人員都是周碩一手挑出來的大才,誰的心思不是一點就透。有幾個甚至就是中科院裡,參加了0。8微米全套工藝開發的研究員。他只是透出一點話頭,這群人的眼睛立刻就亮了起來。
使用水作為沉浸液還面臨著很多的問題,比如說光刻膠的溶解、水中的雜質和穩定性,蒸發擾動以及水中氣體的去除……
但這些問題和提高精密製造水平,根本不可同日而語。精密製造那是拼基礎積累的領域,但拼化學和系統設計,中國人可是太有信心了。
傳承自蘇聯的中國科學家,在系統設計方面可是深諳如何用巧妙方法克服困難要求的。至於某些方面技不如人的自卑,那就完全沒有必要了。這種處境既可以叫窮國的無奈,也可以叫發展中國家的後發優勢,全看人們從什麼角度解讀了。
以中國未來取得的成就來看,大可自豪的說是屬於後一種角度。
“唔,我看這個路線說不定可以。”塗岸北緩緩的點了點頭,笑道:“周校長這個辦法確實是奇思妙想,我看有嘗試一下的必要。”
“我也覺得能成。”他身邊之前質問周碩的中年男人,也不自覺的點頭道:“如果光刻膠的防溶解配方一時拿不出來,我看可以增加一組鏡頭把水和晶圓隔離開。”
“水中的氣體可以透過真空法去除,這樣我們就只需要考慮蒸發造成的擾動了……”
這十四個研究狂人,在周碩指出了路線之後,很快就一個個都找到了自己專業的切入點。絲毫不在意之前自己還對這個計劃表示反對,和實打實的科技成果比起來,面子值幾個錢?國家投入十幾個億,花費了三年時間才把工藝從1。2微米推進到0。8微米。如果被自己從0。8微米再推進到0。5微米,恐怕當前實驗室裡又要多幾個能領國。務。院津貼的了吧!
周碩笑著點頭道:“大家不要著急,我已經為你們每個人的研究內容,專門寫了個計劃書。接下來一個月,我們只要能夠按部就班的完成計劃書裡的研究任務,肯定就能準時的拿出0。5微米工藝生產線。”
塗岸北看著周碩從一旁推出來的檔案車,窘迫的笑著搖了搖頭說道:“之前真不應該懷疑周校長,你可從來都是謀定而後動啊!有這種東西也不早拿出來,不然哪來這麼多麻煩?”
周碩拱了拱手,笑嘻嘻的說道:“怪我、怪我,塗老你千萬大人有大量!”
這也是周碩一直以來在研究管理上的心得,直接上來就拿出試驗計劃,下面人難免會覺得反正是老闆的專案,做起來多少會有些懈怠沒有動力。但如果事先透過啟發的方式,讓下面人瞭解了自己的思路和意圖,那麼他們就會把這個實驗當做是自己驗證知識的過程。可別小看這似乎多此一舉的行為,周碩又不是全知全能的神。給出的試驗計劃裡難免有疏漏和謬誤的地方,研究員的積極性和主觀能動性這時可就是實驗成敗的關鍵了。
眾人從周碩推出來的檔案車上,取了自己負